Schutzschichten kontrollieren

Die Kombination aus Ramanspektroskopie und konfokaler Mikroskopie macht die Raman-Mikrospektroskopie zu einer zerstörungsfreien mikroanalytischen Methode. Anwendungen dieser Methode gibt es in Forensik, Mineralogie, Archäologie, Medizin und Pharmazie.¹—³ Stoffanalyse und Fehlerkontrolle sind die beiden Hauptgebiete dieser Analysetechnik.

Aufbau und Prinzip

Abbildung 1 zeigt schematisch den Aufbau eines konfokalen Ramanmikroskops. Mit einem solchen Gerät lassen sich sowohl das Innere transparenter als auch Oberflächen undurchsichtiger Proben messen. Sowohl großflächige Messungen (Mapping) — auch dreidimensional — als auch Punktmessungen an Partikeln bis zu 1 µm Größe sind möglich, damit erfasst man Informationen über makroskopische Eigenschaften und lokale Effekte. Da die Messtechnik grundsätzlich zerstörungsfrei ist, gestattet sie Folgeuntersuchungen, die mit anderen Messverfahren nicht ohne Weiteres möglich sind.

Prozesskontrolle während der Schutzschichtherstellung

Diese zerstörungsfreie analytische Mikromethode eignet sich dazu, 5 bis 30 µm dicke Eloxalschichten auf Aluminium (Abbildung 2) zu charakterisieren und ihre

Blickpunkt